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***品质霍尔离子源电源射频离子源镀膜设备

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用途:光学镀膜机,离子辅助镀膜、离子清洗,增加膜层致密性和牢固度 产品特点: l 双灯丝。 l 电气接口在真空室内外均采用接插件方式连接,用户无需焊接操作。 l 采用闭环控制稳定阳极电流。 l 具有外部条件锁定接口,可以接入真空、冷却水等开关量信号,当真空或冷却水条件不具备时关闭灯丝。 l 阳极电流提供外部DC0~5V电压控制,方便电脑系统进行自动控制。 l 阳极电压可高达300V,阳极电流可高达8A。阳极电源可提供可高达10A的电流输出,所以阳极电流在8A也可以稳定工作。 l 阴极灯丝采用交流供电,缓启动电路,即使启动时阳极电流调整旋钮未归零,也不会造成电流冲击。
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四会市华源真空设备有限公司

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