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12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管
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规格：
► 晶圆尺寸 : 200mm, 300mm
► 一个腔体 -> 晶圆数量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片
► 工作温度范围 : 150℃ ~400℃
► 5 Axis WTR
设备：
尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500
晶圆：
尺寸：12” ，数量：12” -> 50
配置：
装/卸量：12” -> 2盒
WTR（移动范围）
：X, Y, θ, Z Axis (沿X轴移动，绕Y轴移动并旋转。）
机械手臂
：可选项1个手臂2个手
工艺空间
：加热腔
滤网：高效过滤器
升降机器人
：晶舟升/降
晶圆缓存区
：侧面缓存
电离期：硅芯盒装
工艺参数：
工艺温度：150~400℃(±4℃)
温度均匀度：±3℃
氧含量：≤20 PPM
*技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。
| 联系人 | 周先生 |
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| 电话 | 86-0551-63484895 | |
| 手机 | 18654130182 | |
| 传真 | 86-0551-63484895 | |
| 地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区-宿松路与清华路启迪科技城创客空间A栋1007 |
